红外线显微镜物镜 LMPLN5X/10X-IR/LCPLN20X/50X/100X-IR
是可观察晶圆内部的近红外线(波长:700-1300 nm)观察的专用物镜。LCPLN-IR系列物镜采用校正环对不同硅厚度进行补正的专用物镜。
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