| 干涉物镜 | ||||||
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2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
| 工作距离（mm） | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
| NA（数值孔径） | 0.055 | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.55 | 0.7 |
| FOV（mm）1 | 5093×3818 | 2546×1909 | 1270×950 | 637×477 | 254×190 | 127×95 |
| 空间采样（mm）2 | 6.64 | 3.32 | 1.62 | 0.83 | 0.33 | 0.17 |
| 光学分辨率 蓝光（L&S）（mm）3 | 2.55 | 0.93 | 0.46 | 0.31 | 0.25 | 0.20 |
| 光学分辨率 白光（L&S）（mm）3 | 3.04 | 1.11 | 0.56 | 0.37 | 0.30 | 0.24 |
| 大坡度4 | 3.05o | 8.6o | 14o | 21o | 25o | 42o |
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垂直分辨率（nm）PSI7 垂直分辨率（nm）ePSI7 |
<0.1nm（PZT 0.01nm） | |||||
| 垂直分辨率（nm）VSI7 | 1nm5mm | |||||
| 垂直范围PSI(mm) | 5mm | |||||
| 垂直范围ePSI(mm) | 100mm | |||||
| 垂直范围VSI(mm) | 10mm | |||||
| 扫描速率（mm/s） | PSI：3-15mm/s VSI/ePSI：4-18mm/s | |||||
| 一般测量时间（s）9 | PSI：3s VSI：10s ePSI：30s | |||||
